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高精度台式纳米压痕仪主要功能：
静态/动态纳米压痕：杨氏模量/硬度
连续刚度：高准度薄膜测试，杨氏模量/硬度，<100nm
DMA功能：橡胶等粘弹性材料存储模量/损耗系数
划痕测试
高温纳米压痕300℃
断裂韧性测试
横向加载，泊松比测试
3D/4D杨氏模量/硬度mapping
?考虑到灵活性，iNano允许进行广泛的测试，包括但不限于频率特定实验，存储和损耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定应变率。
?电磁执行器用于Nanomechanics生产的所有系统，包括iNano。这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。它们的大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。
?iNano是时间常数为20微秒的商用纳米压痕仪，可同时满足大压痕行程50μm，噪声<0.1 nm，数字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm/s的规格要求。
?为确保业内广泛，可靠的数据，iNano能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。
?样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。
?载荷框架刚度>1,000,000 N/m
?Jian端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的Jian端校准。
?可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准
?可用划痕选项，大正常载荷为50 mN，大划痕距离为2.5 mm，大划痕速度为500μm/s。
?可用的远程视频选件在iNano腔内提供两个不同的视角，除标准显微镜物镜外还配有USB摄像头。
使用可选的NanoBlitz拓扑和断层扫描软件对材料进行3D和4D映射。
iNano系统由具有电容传感器的电磁传感器提供动力，可对各种材料进行*测量。该系统旨在提供高吞吐量和轻松的数据分析。iNano带有多种标准测试协议，用户可以轻松对其进行编程以进行新颖的测量。iNano设计产生的校准多年稳定，因此来自多个站点的多个仪器的测量数据保持一致。该系统占地面积小，可节省实验室空间，并符合ISO 14577以确保数据完整性。
除了能够在大学，实验室和研究所进行先进的研究外，还可以对以下材料和行业进行纳米压痕测量：
?制造质量控制
?半导体晶圆和封装
?聚合物和塑料
?MEMS/纳米级设备
?陶瓷和玻璃
?金属和合金
?品
?涂料和油漆
?电池和能量存储
http://www.natengyiqi.com/Products-36787475.html
https://www.chem17.com/st125795/product_36787475.html
三维光学轮廓仪
Zeta-20三维光学轮廓仪的典型应用：
?MEMS（微机电系统）
?光伏太阳能电池
?微流体设备
?数据存储磁盘倒边
?激光打孔
?半导体晶圆级芯片级封装
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多功能光学测试模组
?*ZDot点阵三维成像技术与强大的算法相结合，轻易获得各种样品表面信息生成高分辨率3D数据。
?ZIC干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。
?ZSI白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。
?ZX5白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。
?ZFT反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。
Zeta-20三维光学轮廓仪优点：
?多功能——能够在任何表面上进行多次测量
?特定应用软件和算法
?对振动和样品倾斜不敏感
?高光通量设计——实现其他系统无法进行的测量
?易于使用——用户可以快速启动和运行
混合反射率表面测量：在太阳能电池表面氮化物涂层上的银。银反射率大于90%，氮化物反射率小于1%，两者反射率差非常大，Zeta-20高动态范围可轻松测量混合反射率表面。
在微机电系统上进行亚微米级台阶高度测量：可实现大面积高分辨率测量。
分析防伪透明特征：可在混合、不平整的表面上进行准确的3D轮廓分析（图中是人民币20元防伪标志）
光刻胶和金属的台阶测量：ZDot的多模式*地实现了金属台阶和薄膜厚度的同时测量。
激光切割：测量LED设备上激光切割的深度。在非常低的对比度，高粗糙度的表面测量。测量空腔边缘的材料堆积，以确定它是否已流出划线区域并流入LED器件的有源区域。
http://www.natengyiqi.com/Products-36785245.html
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台式纳米压痕仪